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三、發展思路和發展目標
（一）發展思路
深入貫徹落實科學發展觀，充分發揮重大科技專項、戰略性新興產業發展的引領作用，推動形成以企業為主體、產學研用結合的技術創新體系；以市場亟需的、帶動性較顯著的電子專用設備、電子測量儀器為重點，集中力量重點突破，開發滿足國家重大戰略需求、具有市場競爭力的關鍵產品，批量進入生產線，提升市場自給率；以承擔重大專項為契機，形成一批自主知識產權核心技術，扶植起一批電子專用設備儀器重點企業。
（二）發展目標
1、經濟指標
“十二五”時期，我國電子專用設備產業將實現17%的年均增長速度，其中骨干企業年均增長20%，到2015年實現銷售收入400億元；電子儀器產業年均增長速度達15%，到2015年實現銷售收入達到1800億元。
2、創新指標
12英寸65納米集成電路制造裝備實現產業化，研發成功45納米-32納米制造裝備整機產品并進入生產線應用。在若干技術領域形成具有特色的創新技術和創新產品，大幅提升創新實力和差異化競爭能力。研發出8-10種前道核心裝備、12-15種先進封裝關鍵設備并形成批量生產能力。
縮小我國集成電路設備、工藝技術水平與當時國際先進水平的差距，除光刻機外基本縮小到1代甚至基本同步；晶硅太陽能電池設備達到國際先進水平；表面貼裝設備除自動貼片機外達到國際先進水平；集成電路后封裝設備、液晶顯示器件后工序設備、發光二極管（LED）設備（除金屬有機化學氣相沉積設備外）、片式元件設備、凈化設備、環境試驗設備接近國際先進水平。
電子儀器總體技術水平達到2005年前后國際先進水平，在新一代移動通信、數字電視、綠色環保等應用領域的電子儀器基本達到與國際先進水平同步。
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